Вибрация двигателя

[ms1384]

Авто: Логан 2 1.6 102 л.с. Автомат, пробег 20 т.км -  заметил вибрацию двигателя на холостых (и на холодную и при прогретом), если на стоящем авто погазовать до 2000 об. и более двигатель начинает работать ровно.Свечи , фильтры заменены, опора правая ослаблялась , уровень вибрации не изменился. В чём может быть дело?

[Greyhound]

Датчик расхода воздуха. Если машина на гарантии лучше съездить на диагностику.